東京ビッグサイトにて1月30日から2月1日まで開催される表面技術要素展（SURTECH2013）に千葉工大坂本研究室との共同出展で弊社熱フィラメントCVD装置を使ったカーボンナノチューブの合成のデモを行います。皆様のご来場をお待ちしています。
金属膜成膜用のスパッタ装置です。 使用している部品の一部に中古品（オーバーホール済み）を使用して予算の低減を図っています。 金属用4インチ×３カソード＋予備ポート、基板加熱、冷却ステージ付きです。 成膜はスタティック、ダイナミックモードで行うことができ、自動運転も可能です。 成膜条件をSDカードに保存する機能も備えています。 弊社ではお客様のご要望、ご予算に合わせた成膜装置をご提供いたします。
世界最大の加速器として計画が進んでいるILC（International Linear Collider)の超伝導加速空洞を製作するためヨーロッパ、アメリカ、アジアの有力な研究所、企業がpro-beam製の電子ビーム溶接機を選択しました。pro-beam製電子ビーム溶接機の優れたビーム特性、使いやすさ、他の追随を許さない生産効率の高さがハイテク製品製造のプロに評価されました。 そのほかITERの溶接にも斬新なアイデアのpro-beam電子ビーム溶接機が活躍しています。
